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经营范围
发明名称
EXPOSURE APPARATUS
摘要
申请公布号
KR100496072(B1)
申请公布日期
2005.06.17
申请号
KR20010001802
申请日期
2001.01.12
申请人
发明人
分类号
H01J9/14;H01L21/027;G03B27/42;G03F7/20;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01J9/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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