接合之形成方法及使用其形成之被处理物

摘要

本发明之课题系提供步骤简单、通量(throughput)高且可形成高精度浅接合的接合之形成方法。形成对应着所照射电磁波波长的适当基板表面状态，然后照射电磁波而使不纯物呈电活性化，藉由在不纯物薄膜内可效率佳的吸收激发能量之方式，以效率佳的形成浅接合。