有害气体的净化装置

摘要

本发明涉及一种有害气体的净化装置。其提供一种净化装置，该净化装置可在不采用大型或复杂的结构的情况下，针对从半导体制造步骤排出的有害气体，抑制处理物件有害气体的分解率的降低，以及分解室壁面的粉状物的堆积，长时间地，安全稳定地对该有害气体进行净化处理。一种有害气体的净化装置，其通过燃烧燃料而获得的燃烧排气或火焰，对从半导体制造步骤排出的有害气体进行热分解，对其进行净化处理，其按照将热分解室的侧面作为具有通气性和隔热性的壁，通过该壁，将含氧的气体导入热分解室的方式构成。