用于对准晶片接合机之接合头的方法

摘要

为了消除由夹具取出之半导体晶片的偏斜，关于基准面决定半导体晶片下面的至少3个点的高度，并由此计算偏斜度。高度在降低半导体晶片直至半导体晶片与探针接触时进行决定。