加速度侦知器及加速度侦知器之制造方法

摘要

〔课题〕本发明之目的在于提供一种加速度侦知器，可提高接合框和盖之接合强度。〔解决手段〕本发明之加速度侦知器包括：半导体基板SB；侦知器元件，在半导体基板SB上形成；复晶矽接合框FD，在半导体基板SB上形成，围绕侦知器元件；以及玻璃盖CA，藉着和复晶矽接合框FD之上面接合，间隔既定之空间覆盖该侦知器之上方。而，在复晶矽接合框未掺入杂质。