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发明名称 E-BEAM MICRO-SOURCE USING CNT TIP, E-BEAM MICROCOULUM MODULE AND METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR20050057713(A) 申请公布日期 2005.06.16
申请号 KR20030089373 申请日期 2003.12.10
申请人 ELECTRONICS AND TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 发明人 KIM, DAE YONG;CHOI, SANG KUK
分类号 H01J37/073;(IPC1-7):H01J37/073 主分类号 H01J37/073
代理机构 代理人
主权项
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