| 发明名称 |
Protected switch and techniques to manufacture the same |
| 摘要 |
Briefly, micromechanical system (MEMS) switches that utilize protective layers to protect electrical contact points.
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| 申请公布号 |
US2005130339(A1) |
申请公布日期 |
2005.06.16 |
| 申请号 |
US20040898428 |
申请日期 |
2004.07.22 |
| 申请人 |
ZHANG YUEGANG;MA QING |
发明人 |
ZHANG YUEGANG;MA QING |
| 分类号 |
H01H59/00;(IPC1-7):H01L21/00;H01L29/15;H01L31/031 |
主分类号 |
H01H59/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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