发明名称 A METHOD FOR FORMING A PLUG OF A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050058077(A) 申请公布日期 2005.06.16
申请号 KR20030090326 申请日期 2003.12.11
申请人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 KIM, SEUNG HYUN
分类号 H01L21/28;H01L21/4763;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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