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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR ACTIVELY CONTROLLING THE DC POTENTIAL OF A CATHODE PEDESTAL
摘要
申请公布号 KR100487823(B1) 申请公布日期 2005.06.16
申请号 KR19970052682 申请日期 1997.10.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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