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发明名称 THERMAL PROCESS STATION WITH HEATED LID
摘要
申请公布号 EP1540259(A2) 申请公布日期 2005.06.15
申请号 EP20030795580 申请日期 2003.08.01
申请人 FSI INTERNATIONAL, INC. 发明人 NGUYEN, VUONG, P.;SIMS, RICHARD, E.;ZHU, XIAOGUANG
分类号 H05B3/68;C23C16/00;F27B17/00;F27D1/18;H01L;H01L21/00;H01L21/027;(IPC1-7):F27D1/18 主分类号 H05B3/68
代理机构 代理人
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