基板处理装置及基板处理装置的管理方法

摘要

本发明涉及一种基板处理装置及基板处理装置的管理方法，在基板处理装置中对各动作部进行各式各样的维护工作。在装置空间的侧面规定位置设置有门，在各个门设置着联锁开关。在每个门的附近设置有联锁解除部，其用于将联锁开关的功能设定为无效，使装置空间内各动作部中特定的动作部的电源为断开状态，将其他动作部的电源维持为接通状态。在装置空间的侧面的规定位置设置着再动作指令部，其用于通过联锁解除部的操作，使成为断开状态的特定的动作部的电源成为接通状态。

主权项

1.一种基板处理装置，具有：多个动作部，其设置在包含有对基板进行规定的处理的处理空间和用于搬送基板的搬送空间的装置空间内，对基板进行规定的处理动作或搬送动作；门，其使人可进入到上述装置空间中；停止装置，其在上述门被打开时，使上述多个动作部停止；无效设定装置，其用于在将上述停止装置的动作设定为无效状态的同时，将上述多个动作部中预先确定的动作部设定为停止状态；动作指令装置，其用于使通过上述无效设定装置而被设定为停止状态的上述预先确定的动作部再动作。