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发明名称 METHOD FOR PREPARATION OF ALUMINUM OXIDE THIN FILM
摘要
申请公布号 EP1540033(A1) 申请公布日期 2005.06.15
申请号 EP20030766766 申请日期 2003.07.29
申请人 KOREA RESEARCH INSTITUTE OF CHEMICAL TECHNOLOGY 发明人 KIM, YUNSOO;AN, KI-SEOK;LEE, SUN SOOK;CHUNG, TAEK-MO;CHO, WONTAE;SUNG, KIWHAN
分类号 C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;(IPC1-7):C23C16/40 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
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