可防止玻璃基板破片之侦测设备

摘要

一种可防止玻璃基板破片之侦测设备，此装置包括第一输送带、第二输送带、升降平台、及侦测器。其中第一输送带系用以自外部输送系统接收基板。第二输送带系与第一输送带相连结，用以接收来自第一输送带的基板。升降平台系位于第二输送带上，用以调整基板之曝光位置。侦测器系位于第二输送带之靠近第一输送带的位置上，用以侦测基板并控制第一输送带及升降平台之运作。由于本发明之侦测器可自动侦测玻璃基板是否移动过头，并于玻璃基板发生移动过头之现象之际，立即锁死第一输送带及升降平台，因此，无论是在手动状态或是自动状态，皆可因侦测器之自动保护锁死措施，而避免玻璃基板发生破片现象，减少玻璃基板之损失，进而有效地降低生产成本。

主权项

1.一种可防止玻璃基板破片之侦测设备,包括:一第一输送带,用以自一外部输送系统接收一基板;一第二输送带,与该第一输送带相连结,用以接收来自该第一输送带的该基板;一升降平台,系位于该第二输送带上,用以调整该基板之曝光位置;一第一侦测器,系位于该第一输送带之靠近该第二输送带的位置上,用以监控该第一输送带之运作;一第二侦测器,系位于该第二输送带上之靠近该升降平台的位置上,用以监控该第二输送带之运作;一第三侦测器,系位于该升降平台上,用以传送使该升降平台上升的驱动讯号;以及一第四侦测器,系位于该第二输送带之靠近该第一输送带的位置上,用以侦测该基板发生异常之际,该第四侦测器系同时停止并锁住该第一输送带及该升降平台之运作,且该第三侦测器可于该升降平台与该第二输送带位于同一平面之际,锁住该升降平台。2.如申请专利范围第1项所述之可防止玻璃基板破片之侦测设备,其中该第四侦测器系锁住正进行升降动作的该升降平台。3.一种可防止玻璃基板破片之侦测设备,包括:一第一输送带,用以自一第一外部输送系统接收一基板;一第二输送带,系与该第一输送带之一侧相连结,用以接收来自该第一输送带的该基板;一第三输送带,系与该第二输送带之远离该第一输送带之一侧相连结,用以接收来自该第二输送带的该基板并将该基板传送至一第二外部输送系统;一升降平台,系位于该第二输送带上,用以调整该基板之曝光位置;一第一侦测器,系位于该第一输送带之靠近该第二输送带的位置上,用以监控该第一输送带之运作;一第二侦测器,系位于该第二输送带上之靠近该升降平台的位置上,用以监控该第二输送带之运作;一第三侦测器,系位于该升降平台上,用以传送使该升降平台上升的驱动讯号;以及一第四侦测器,系位于该第二输送带之靠近该第一输送带的位置上,用以侦测该基板发生异常之际,该第四侦测器系同时停止并锁住该第一输送带及该升降平台之运作,该第三侦测器可于该升降平台与该第二输送带位于同一平面之际,锁住该升降平台。4.如申请专利范围第3项所述之可防止玻璃基板破片之侦测设备,其中该第四侦测器系锁住正进行升降动作的该升降平台。5.一种可防止玻璃基板破片之侦测设备,包括:一第一输送带,用以传递一基板;一第二输送带,系与该第一输送带之一侧相连结,并接收来自该第一输送带之该基板;一升降平台,系位于该第二输送带上,用以调整该基板之曝光位置;以及一侦测器,系位于该第二输送带之靠近该第一输送带的位置上,用以侦测该第一输送带之状况,并侦测该基板发生异常之际,该侦测器系同时停止并锁住该第一输送带及该升降平台之运作。6.如申请专利范围第5项所述之可防止玻璃基板破片之侦测设备,其中该侦测器系锁住正进行升降动作的该升降平台。图式简单说明:第1图所示为习知之曝光机的局部示意图。第2图所示为习知之曝光输送装置的局部示意图。第3图所示为本发明之一较佳实施例之可防止玻璃基板破片之侦测设备的局部示意图。