| 主权项 |
1.一种以光学方式决定一接受测试装置(DUT)之特征 之系统,包含: 一局部振荡器源,其产生一局部振荡器信号; 一光束扩充器,其系与该局部振荡器源光通讯,该 光束扩充器扩充局部振荡器信号之至少一部分;以 及 一侦测系统,其系与该局部振荡器源及该光束扩充 器作光通讯,其使用该局部振荡器信号之扩充部分 进行与一接受测试装置相关之多重平行干涉量度 测量。 2.如申请专利范围第1项之系统,其中该局部振荡器 源系可光学连结至该接受测试装置,供提供部分局 部振荡器信号给该接受测试装置,以及其中该光束 扩充器系与一透镜阵列作光通讯,来提供一扩充局 部振荡器信号给该透镜阵列,该透镜阵列回应于该 扩充局部振荡器信号输出扩充局部振荡器信号之 多重光束。 3.如申请专利范围第2项之系统,进一步包括光耦合 器,该光耦合器组合部分由该接受测试装置输出之 局部振荡器信号与由该透镜阵列输出之多重扩充 局部振荡器信号束。 4.如申请专利范围第3项之系统,进一步包括复数个 侦测器供平行侦测该组合光束。 5.如申请专利范围第1项之系统,进一步包括: 一分束器,供分裂该扩充局部振荡器信号;以及 一镜,其系与该分束器呈光通讯,俾接受该扩充局 部振荡器信号之第一部分; 该分束器系定向成让第二部分扩充局部振荡器信 号可施加至该接受测试装置,以及让第一部分扩充 局部振荡器信号组合由该接受测试装置接收得之 部分扩充局部振荡器信号。 6.如申请专利范围第5项之系统,进一步包括一透镜 阵列定向成可接收第二部分扩充局部振荡器信号, 该透镜阵列输出多重第二部分扩充局部振荡器信 号束。 7.如申请专利范围第6项之系统,进一步包括一耦合 系统,该耦合系统系与该透镜阵列成先通讯,该耦 合系统系耦合由该透镜阵列输出至该接受测试装 置之多重光束。 8.如申请专利范围第6项之系统,其中该侦测系统包 括一侦测器阵列,其平行侦测组合光信号,该组合 光信号系由该扩充局部振荡器信号之第一部分与 第二部分形成。 9.一种以光学性质决定接受测试装置(DUT)特征之方 法,包含: 产生一扩充局部振荡器信号;以及 组合该扩充局部振荡器信号与得自接受测试装置 之光供用于多重平行干涉量度测量。 10.如申请专利范围第9项之方法,进一步包括将至 少部分扩充局部振荡器信号聚焦成多重光束。 图式简单说明: 第1图显示根据本发明决定DUT特征之系统,该系统 利用扩充光束来进行多重平行干涉量度测量。 第2图显示根据本发明之另一决定DUT特征之系统, 该系统利用扩充扫拂局部振荡器信号来达成多重 平行干涉量度测量。 第3图显示侦测器阵列及透镜阵列范例,其中侦测 器阵列之侦测器元件与透镜阵列之透镜元件系以 光学方式校准。 第4图显示根据本发明之参考光束,该参考光束系 重叠多重测试光束。 第5图显示根据本发明之另一决定DUT特征之系统, 该系统利用扩充扫拂局部振荡器信号来达成多重 平行干涉量度测量。 第6图显示用于第2图及第5图之系统之偏光分束器 及侦测器阵列。 第7图显示根据本发明以光学方式决定DUT特征之处 理流程图之具体实施例。 |
