| 主权项 |
1.一种溅镀装置之准直仪,该准直仪具有多个贯穿 通孔并供设置于溅镀靶与待处理物之间,其特征在 于该准直仪系由低膨胀系数并具粗糙表面之恒范 钢(Invar、Kovar)所制成。 2.依申请专利范围第1项所述之准直仪,其中该准直 仪系以铸造、板材压制或薄片焊接等方法所制得 。 3.一种溅镀装置,主要包含: 一可抽真空室; 一溅镀靶,安装于该室内; 一待处理物,相对于溅镀靶安装于该室内;及 一准直仪,安装于溅镀靶与待处理物之间,该准直 仪具有多个贯穿通孔并由低膨胀系数并具粗糙表 面之恒范钢(Invar、Kovar)所制成。 4.依申请专利范围第3项所述之溅镀装置,其中该准 直仪系以铸造、板材压制或薄片焊接等方法所制 得。 5.一种适用于溅镀薄膜之准直仪,该准直仪具有多 个贯穿通孔并供设置于溅镀靶与待处理物之间,其 特征在于该准直仪系由低膨胀系数并具粗糙表面 之金属所制成。 6.依申请专利范围第5项所述之准直仪,其中该准直 仪所溅镀之薄膜系为氮化钛(TiN)或氮化钽(TaN)。 7.依申请专利范围第5项所述之准直仪,其中该准直 仪系由恒范钢(Invar、Kovar)所制成。 8.依申请专利范围第5项所述之准直仪,其中该准直 仪系以铸造、板材压制或薄片焊接等方法所制得 。 图式简单说明: 第1图:依本创作准直仪之一具体实施例之立体图; 及 第2图:本创作之准直仪结合于一溅镀装置之纵向 剖视图。 |
