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发明名称 SPIN ETCH APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100493558(B1) 申请公布日期 2005.06.10
申请号 KR20030025822 申请日期 2003.04.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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