发明名称 Verfahren zur Isolierung einer Halbleiteranordnung
摘要
申请公布号 DE69634675(D1) 申请公布日期 2005.06.09
申请号 DE19966034675 申请日期 1996.02.23
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 PARK, MOON-HAN
分类号 H01L21/316;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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