| 发明名称 |
REFRACTIVE PROJECTION OBJECTIVE FOR IMMERSION LITHOGRAPHY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003304557(A1) |
申请公布日期 |
2005.06.08 |
| 申请号 |
AU20030304557 |
申请日期 |
2003.10.22 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT AG |
发明人 |
AURELIAN DODOC;WILHELM ULRICH;HANS-JURGEN ROSTALSKI |
| 分类号 |
G02B13/14;G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G02B13/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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