发明名称 LASER IRRADIATION APPARATUS FOR CRYSTALLIZATION AND MANUFACTURING METHOD FOR POLYSILICON THIN FILM TRANSISTOR USING THE APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20050052764(A) 申请公布日期 2005.06.07
申请号 KR20030086309 申请日期 2003.12.01
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, DONG BYUM
分类号 H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人
主权项
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