热处理装置及发电模组

摘要

【课题】本发明系以提供提高温度测量准确度之热处理装置为目的。【解决方法】设置于基板上之热处理装置，系具有：发热部，该发热部具备有发热层；防止扩散层，连接于发热层其一方之面，防止随着前述发热层之发热所产生之发热层之扩散；密接层，设置于前述基板与前述防止扩散层之间。