具夹层环形对称抽气的真空系统

摘要

本案为一种具夹层环形对称抽气的真空系统，系用于一电感耦合式电浆(ICP,Inductive Coupled Plasma)系统，藉以进行一制程，以于该制程进行时作均匀之对称性抽气，其包含：一壳体；一制程样品提供装置，系设于该壳体内，藉以提供该制程所需之一样品；一制程平台，系设于该壳体内，并位于该制程样品提供装置的下方，藉以进行该制程；以及一气导区，系位于该壳体之内，且环绕于该制程平台，以于该制程进行时，作均匀之对称性抽气。