光学式金属辨识装置及其方法

摘要

本发明之光学式金属辨识装置包含一可承载一待测样品之载台、一可产生至少一窄频光之光源模组、一用以聚焦该窄频光于该待测样品上之透镜组、一用以撷取该窄频光经该行测样品反射后之反射光强度之光感测器以及一用以辨识该待测样品所包含之金属种类之处理单元。该待测样品可为一包含铜及金之印刷电路板，而该窄频光之频宽较佳地系小于20nm，最佳地为小于5nm。该处理单元可根据该窄频光经该待测样品反射后之反射光强度的差异性，用以辨识该待测样品所包含之金属种类。