发明名称 | 代理缺陷检测数据的系统 | ||
摘要 | 本发明提供一种在制造系统中代理信息的方法,包括一连接在信息提供者(102)与信息消费者(105)间的代理。该制造系统以第一格式从该提供者处接收信息并以第二格式从该代理处将信息送至该消费者。另外,本发明还提供一种在一制造系统中代理缺陷检测及分类数据的方法,包括一连接在一缺陷检测及分类数据的提供者与一缺陷检测及分类数据的消费者之间的代理。该制造系统以第一格式从该提供者处接收缺陷检测及分类数据并以第二格式从该代理处将缺陷检测及分类数据送至该消费者。另外,本发明又提供一种制造系统,包括一缺陷检测及分类数据的提供者、一缺陷检测及分类数据的消费者以及一缺陷检测及分类数据的代理。该代理连接在该提供者及该消费者之间。该代理包括一与提供者连接的提供者部分(130)以及一与消费者连接的消费者部分(132)。该提供者部分从该提供者处接收该缺陷检测及分类数据。该消费者部分则提供警报给该消费者。 | ||
申请公布号 | CN1623128A | 申请公布日期 | 2005.06.01 |
申请号 | CN02828434.8 | 申请日期 | 2002.12.18 |
申请人 | 先进微装置公司 | 发明人 | E·小科斯;S·H·小艾伦;M·R·康博伊 |
分类号 | G05B23/02 | 主分类号 | G05B23/02 |
代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 戈泊;程伟 |
主权项 | 1.一种制造系统,包括:一缺陷侦测及分类数据的提供者以及一缺陷侦测及分类数据的消费者,其特征在于:一连接在该提供者及该消费者之间的代理,该代理包括一连接到该提供者的提供者部分及一连接到该消费者的消费者部分,该提供者部分从该提供者处接收缺陷侦测及分类数据,而该消费者部分将警报提供给该消费者。 | ||
地址 | 美国加利福尼亚州 |