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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MONITORING AUTOMATICALLY MOLDING DEVICE CAPABLE OF PREVENTING ACCIDENT OF OPERATOR AND PREVENTING ERROR DUE TO TEMPORARY INTERRUPTION
摘要
申请公布号 KR100472310(B1) 申请公布日期 2005.06.01
申请号 KR19970033974 申请日期 1997.07.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/56;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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