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发明名称
PROCESS FOR THE PRODUCTION OF HIGH-MOLECULAR COMPOUNDS FOR PHOTORESIST
摘要
申请公布号
EP1491560(A4)
申请公布日期
2005.06.01
申请号
EP20030708604
申请日期
2003.03.14
申请人
发明人
分类号
C08F6/00;C08F6/02;C08F6/06;G03F7/039;(IPC1-7):C08F6/00;C08F20/18;C08F20/28
主分类号
C08F6/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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