发明名称 | 探针卡及探针卡的制造方法 | ||
摘要 | 一种探针卡,不需要复杂的结构等,就能够针高度无偏差地高密度且高精度配设微小探针。设置在晶片试验装置上的探针卡(1),包括:基板(10),具有传送外加给作为试验对象的晶片的测试信号的布线图形;形成在基板(2)的表面上的组合基板(10);硅制探针(20),配设在组合基板(10)上,与表面布线图形(11)连接,形成梳形状;平坦部(12),镀膜形成在组合基板(10)的表面布线图形(11)上,通过研磨使表面平坦化。通过在平坦部(12)上搭载探针(20),形成将其组装在基板(2)上的构成。 | ||
申请公布号 | CN1623094A | 申请公布日期 | 2005.06.01 |
申请号 | CN03802632.5 | 申请日期 | 2003.01.24 |
申请人 | 株式会社爱德万测试 | 发明人 | 小嵨昭夫 |
分类号 | G01R1/073;H01L21/66 | 主分类号 | G01R1/073 |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汪惠民 |
主权项 | 1.一种探针卡,设置在晶片试验装置上,其特征在于,包括:基板,具有传送外加给作为试验对象的晶片的测试信号的布线图形;探针,配设该基板上,与上述布线图形连接,与上述晶片的电极接触;平坦部,形成在上述基板的表面,表面被平坦化;上述探针搭载在上述平坦部上。 | ||
地址 | 日本东京都 |