发明名称 |
盒基座及晶片检查装置 |
摘要 |
本发明涉及一种盒基座(2),包括:晶片盒(6),在叠层方向保持具有定位面的多个晶片(5),并具有使上述晶片出入的第1开口部和与上述第1开口部对置设置的第2开口部;第1推入机构(803、804),设置成经上述第2开口部可出入上述晶片盒内,并推压上述晶片;以及第2推入机构(903、904),设置成经上述第1开口部可出入上述晶片盒内,并推压上述晶片;上述第1推入机构和上述第2推入机构中的一个推压上述晶片的定位面,另一个推压上述晶片的周边,夹持上述晶片。 |
申请公布号 |
CN1622306A |
申请公布日期 |
2005.06.01 |
申请号 |
CN200410095889.2 |
申请日期 |
2004.11.26 |
申请人 |
奥林巴斯株式会社 |
发明人 |
加藤智生;土坂新一;秋叶彻;茨木秀文;榆井辰夫 |
分类号 |
H01L21/68;H01L21/66;H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/68 |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 |
代理人 |
黄剑锋 |
主权项 |
1.一种盒基座,包括:晶片盒,在叠层方向保持具有定位面的多个晶片,并具有使上述晶片出入的第1开口部和与上述第1开口部对置地设置的第2开口部;第1推入机构,设置成经上述第2开口部可出入上述晶片盒内,并推压上述晶片;以及第2推入机构,设置成经上述第1开口部可出入上述晶片盒内,并推压上述晶片;上述第1推入机构和上述第2推入机构中的一个推压上述晶片的定位面,另一个推压上述晶片的周边,夹持上述晶片。 |
地址 |
日本东京 |