发明名称 盒基座及晶片检查装置
摘要 本发明涉及一种盒基座(2),包括:晶片盒(6),在叠层方向保持具有定位面的多个晶片(5),并具有使上述晶片出入的第1开口部和与上述第1开口部对置设置的第2开口部;第1推入机构(803、804),设置成经上述第2开口部可出入上述晶片盒内,并推压上述晶片;以及第2推入机构(903、904),设置成经上述第1开口部可出入上述晶片盒内,并推压上述晶片;上述第1推入机构和上述第2推入机构中的一个推压上述晶片的定位面,另一个推压上述晶片的周边,夹持上述晶片。
申请公布号 CN1622306A 申请公布日期 2005.06.01
申请号 CN200410095889.2 申请日期 2004.11.26
申请人 奥林巴斯株式会社 发明人 加藤智生;土坂新一;秋叶彻;茨木秀文;榆井辰夫
分类号 H01L21/68;H01L21/66;H01L21/00 主分类号 H01L21/68
代理机构 永新专利商标代理有限公司 代理人 黄剑锋
主权项 1.一种盒基座,包括:晶片盒,在叠层方向保持具有定位面的多个晶片,并具有使上述晶片出入的第1开口部和与上述第1开口部对置地设置的第2开口部;第1推入机构,设置成经上述第2开口部可出入上述晶片盒内,并推压上述晶片;以及第2推入机构,设置成经上述第1开口部可出入上述晶片盒内,并推压上述晶片;上述第1推入机构和上述第2推入机构中的一个推压上述晶片的定位面,另一个推压上述晶片的周边,夹持上述晶片。
地址 日本东京