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发明名称 DOME TEMPERATURE CONTROL UNIT OF PLASMA DRY ETCH APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20050051420(A) 申请公布日期 2005.06.01
申请号 KR20030085205 申请日期 2003.11.27
申请人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 MUN, NAM SHICK
分类号 (IPC1-7):H01L21/306 主分类号 (IPC1-7):H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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