发明名称 MULTI-LEVEL GATE SONOS FLASH MEMORY DEVICE WITH HIGH VOLTAGE OXIDE AND METHOD FOR THE FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 SG111190(A1) 申请公布日期 2005.05.30
申请号 SG20040004417 申请日期 2004.08.10
申请人 CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD 发明人 ZHENG JIA ZHEN;YELEHANKA PRADEEP RAMACHANDRAMURTHY;LI WEINING
分类号 H01L21/336;H01L21/8246;H01L27/105;H01L27/115 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
地址