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发明名称
CMP APPARATUS HAVING CLEANING PART
摘要
申请公布号
KR100493650(B1)
申请公布日期
2005.05.26
申请号
KR19970077019
申请日期
1997.12.29
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
KIM, CHUN GWANG;HONG, SEONG HYEON;OH, SANG HEON
分类号
H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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