具有覆盖钇铝层的部件的处理腔

摘要

基片处理腔部件是具有整体式表面层的结构，该层含有钇铝化合物。可以由含钇和铝构成的金属合金浇铸成该部件形状，并阳极化处理其表面以形成整体式阳极化表面层。该腔室部件也可以在预制金属模中用离子注入材料形成。该部件可以是腔壁、基片支座、基片传送器、供气设备、气体激发器和排气设备中的一个或多个。

主权项

1.基片处理腔部件，包括具有由钇-铝化合物组成的整体性表面层的结构。