大尺寸精密板状（半）成品用气密容器

摘要

本发明涉及一种大尺寸精密板状(半)成品用气密容器。这种用于一大尺寸精密板状(半)成品例如一光掩膜的较轻树脂质气密容器能够安全地且以一气密方式容纳、支承并输送该精密板状(半)成品。该气密容器包括分别具有相互邻接的外围法兰部以在其中容纳一精密板状(半)成品的一主体和一盖件。该主体和该盖件中的每个由一配备有一加强肋的真空或大气压成形热塑树脂板状件组成。

主权项

1.一种大尺寸精密板状(半)成品用气密容器，它包括分别具有相互邻接的外围法兰部以在其中容纳一精密板状(半)成品的一主体和一盖件，其中，所述主体和所述盖件中的每一个由一配备一加强肋的真空或大气压成形热塑树脂板状件组成。