大行程纳米级步距压电马达

摘要

本发明大行程纳米级步距压电马达，涉及微驱动系统，具体讲是涉及应用于纳米测量或纳米定位大行程纳米级步距压电马达。为提供低价格大行程纳米级步距压电马达，本发明采用的技术方案是，大行程纳米级步距压电马达由第一夹紧器、第二夹紧器、第一驱动器、第二驱动器和驱动轴组成，第一夹紧器与第一驱动器相连，第二夹紧器与第二驱动器相连，第一夹紧器、第二夹紧器、第一驱动器、第二驱动器构成推拉关系。本发明主要用于纳米定位及纳米测量。

主权项

1.一种大行程纳米级步距压电马达，其特征是，由第一夹紧器、第二夹紧器、第一驱动器、第二驱动器、驱动轴和控制系统组成，第一夹紧器与第一驱动器相连，第二夹紧器与第二驱动器相连，第一夹紧器、第二夹紧器、第一驱动器、第二驱动器构成推拉关系，使驱动轴发生运动，即当第一夹紧器夹紧时，第二夹紧器放松，同时第一驱动器推动驱动轴运动，第二驱动器做预备动作；当第二夹紧器夹紧时，第一夹紧器处于放松状态，第二驱动器继续驱动驱动轴运动，同时第一驱动器做预备动作，如此循环往复，控制系统按时序输出两路三角波、两路方波，经直流放大器放大后，加载到压电马达上对其进行动作控制。