| 发明名称 |
Forming a dielectric on a thin metal film using an ion beam |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2408399(A) |
申请公布日期 |
2005.05.25 |
| 申请号 |
GB20030027292 |
申请日期 |
2003.11.24 |
| 申请人 |
* NORDIKO TECHNICAL SERVICES LTD |
发明人 |
MERVYN HOWARD * DAVIS;GARY * PROUDFOOT |
| 分类号 |
C23C14/14;C23C14/58;G11C11/15;H01L21/8246;H01L27/22;H01L43/12;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
C23C14/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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