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经营范围
发明名称
DRY ETCH APPARATUS
摘要
申请公布号
KR20050047239(A)
申请公布日期
2005.05.20
申请号
KR20030081039
申请日期
2003.11.17
申请人
LG.PHILIPS LCD CO., LTD.
发明人
LEE, GEUN BUM;PARK, KI CHOON
分类号
G02F1/13;(IPC1-7):G02F1/13
主分类号
G02F1/13
代理机构
代理人
主权项
地址
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