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发明名称 Halbleiterbauelement für integrierte Schaltkreise sowie Verfahren zur Herstellung
摘要
申请公布号 DE19840984(B4) 申请公布日期 2005.05.19
申请号 DE19981040984 申请日期 1998.09.08
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 LUDWIG, CHRISTOPH;KUTTER, CHRISTOPH;WOLF, KONRAD;HEITZSCH, OLAF;HUCKELS, KAI;RENNEKAMP, REINHOLD;ROEHRICH, MAYK;STEIN VON KAMIENSKI, ELARD;WAWER, PETER;SPRINGMANN, OLIVER
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/423;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/336 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
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