| 发明名称 |
Für Linienbreiten unempfindliche Detektion einer Ausrichtmarke auf einer Halbleiterscheibe |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69732011(T2) |
申请公布日期 |
2005.05.19 |
| 申请号 |
DE19976032011T |
申请日期 |
1997.10.02 |
| 申请人 |
ASML HOLDING, N.V. |
发明人 |
MARKOYA, LOUIS;LYONS, JOSEPH |
| 分类号 |
G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F9/00 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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