液体喷射头、液体喷射装置以及该液体喷射头的制造方法

摘要

本发明涉及一种液体喷射头、一种液体喷射装置以及制造该液体喷射头的方法。本发明尤其可以应用于热系统的喷墨打印机。构成涂覆型绝缘材料膜的处理和通过蚀刻从而从加热元件形成区域中基本上去除涂覆型绝缘材料膜的处理重复至少多次，从而即使是在通过提供SOG膜而防止台阶产生的情况下也能防止加热元件的损坏。

主权项

1.一种液体喷射头，其包括：用于对保持在一液体腔中的液体进行加热的加热元件，和用于驱动所述加热元件的半导体装置，所述加热元件和所述半导体装置在一基底上整体形成，通过由所述半导体装置驱动所述加热元件而使所述液体的液滴从预定喷嘴喷出，其中，置于所述半导体装置上的一层间绝缘膜的一部分由涂覆型绝缘膜形成，以及所述涂覆型绝缘膜通过至少多次重复下述处理而形成：通过应用于所述基底的表面而构成一涂覆型绝缘材料膜的处理，和通过对所述基底的表面进行蚀刻而从加热元件形成区域中基本上去除所述涂覆型绝缘材料膜的处理。