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发明名称 Methods and apparatus for controlling rotating magnetic fields
摘要
申请公布号 GB0507431(D0) 申请公布日期 2005.05.18
申请号 GB20050007431 申请日期 2005.04.13
申请人 TRIKON TECHNOLOGIES LIMITED 发明人
分类号 H01J37/34;H01L21/285 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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