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发明名称
摘要
申请公布号
JP3649125(B2)
申请公布日期
2005.05.18
申请号
JP20000571720
申请日期
1999.09.14
申请人
发明人
分类号
H01L27/32;H05B33/10;H05B33/14;H05B33/22;(IPC1-7):H05B33/10;H05B33/12
主分类号
H01L27/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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