基于双微悬臂梁结构的微型镊子

摘要

本发明公开了一种基于双微悬臂梁结构的微型镊子，包括基底、两个固定在该基底上的微悬臂梁。所述的微悬臂梁上设置有作为驱动载体的压电薄膜，所述基底设置有引出电极；所述电压控制模块产生外部电压，经引出导线传送到引出电极上，再经过导线的传输到达压电薄膜，控制所述压电薄膜及其微悬臂梁的变形、控制由两个微悬臂梁构成的微型镊子的开闭和夹持力。本发明以成熟的硅微加工技术为基础，根据压电材料的逆压电效应，来实现微小尺寸物体的夹持动作，工艺较为简单，兼容性好，操作方便，可立即投入实际应用，集成度高等突出优点，可广泛应用于微纳领域中。

主权项

1.一种基于双微悬臂梁结构的微型镊子，包括基底、两个固定在该基底上的微悬臂梁，其特征是，所述的微悬臂梁上设置有作为驱动载体的压电薄膜，所述基底设置有引出电极；所述电压控制模块产生外部电压，经引出导线传送到引出电极上，再经过导线的传输到达压电薄膜，控制所述压电薄膜及其微悬臂梁的变形、控制由两个微悬臂梁构成的微型镊子的开闭和夹持力。