| 发明名称 | 多色调光掩模及其制造方法 | ||
| 摘要 | 公开了多色调光掩模(12)及其制造方法。光掩模(12)包括在至少部分衬底(16)上形成的滤光层(20)。滤光层(20)包括利用第一刻蚀工艺形成的第一图案。在至少部分滤光层(20)上利用第二刻蚀工艺形成包括第一图案的阻挡层(22)。在至少部分阻挡层(22)上利用第三刻蚀工艺形成包括第二图案的吸收层(18)。阻挡层(22)用来终止第三刻蚀工艺。 | ||
| 申请公布号 | CN1618043A | 申请公布日期 | 2005.05.18 |
| 申请号 | CN02828000.8 | 申请日期 | 2002.12.13 |
| 申请人 | 杜邦光掩公司 | 发明人 | E·V·约翰斯顿;F·D·卡尔克 |
| 分类号 | G03F9/00 | 主分类号 | G03F9/00 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 杨凯;张志醒 |
| 主权项 | 1.一种光掩模，它包括：在至少部分衬底上形成的滤光层，所述滤光层包括利用第一刻蚀工艺形成的第一图案；在至少部分所述滤光层上形成的阻挡层，所述阻挡层包括利用第二刻蚀工艺形成的第一图案；以及在至少部分所述阻挡层上形成的吸收层，所述吸收层包括利用第三刻蚀工艺形成的第二图案，所述阻挡层可以用来终止所述第三刻蚀工艺。 | ||
| 地址 | 美国得克萨斯州 | ||