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发明名称 Method of manufacturing a semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100490303(B1) 申请公布日期 2005.05.17
申请号 KR20020076287 申请日期 2002.12.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/76;H01L21/8247;H01L21/223;H01L21/265;H01L21/28;H01L21/306;H01L21/336;H01L21/761;H01L27/115;H01L29/10;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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