发明名称 METHOD FOR IMPROVING THE EFFECT OF GOI IN SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATION
摘要
申请公布号 KR100489539(B1) 申请公布日期 2005.05.16
申请号 KR20030052579 申请日期 2003.07.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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