| 主权项 |
1.一种基板搬送装置,系供对具备有:搬入未处理基 板的基板搬入埠,与将已处理完毕的基板予以搬出 的基板搬出埠之基板处理部,执行基板的搬入与搬 出用之基板搬送装置;其特征在于包含有: 设置供收容基板用之晶盒的晶盒站; 供从第一基板让渡位置,将基板搬入于上述基板搬 入埠中的基板搬入机构; 从设置于上述晶盒站的晶盒中取出基板,并在上述 第一基板让渡位置处,将基板让渡给上述基板搬入 机构,同时将被搬出于上述基板搬出埠的基板,收 容于设置在上述晶盒站中的晶盒之索引机械人;以 及 在与上述基板处理部中所设置的基板处理控制机 构之间进行通信,并从上述基板处理控制机构对应 要求,而控制着上述基板搬入机构,同时独立于来 自上述基板处理控制机构的要求,控制着上述索引 机械人的基板搬送控制机构。 2.如申请专利范围第1项之基板搬送装置,其中,系 更包括有供当到达第二基板让渡位置处时,便从上 述基板搬出埠中搬出基板用的基板搬出机构; 上述索引机械人,系在上述第二基板让渡位置处, 便从上述基板搬出机构中承接基板,并将基板收容 于设置在上述晶盒站中的晶盒中; 上述基板搬送控制机构,系对应来自上述基板处理 控制机构的要求,控制着上述基板搬出机构。 3.一种基板搬送装置,系供对具备有:搬入未处理基 板的基板搬入埠,与将已处理完毕的基板予以搬出 的基板搬出埠之基板处理部,执行基板的搬入与搬 出用之基板搬送装置;其特征在于包含有: 设置供收容基板用之晶盒的晶盒站; 供当到达第二基板让渡位置处时,便从上述基板搬 出埠中搬出基板用的基板搬出机构; 从设置于上述晶盒站的晶盒中取出基板,并将基板 供应给上述基板搬入埠,同时在上述第二基板让渡 位置处,从上述基板搬出机构承接基板,收容于设 置在上述晶盒站中的晶盒之索引机械人;以及 在与上述基板处理部中所设置的基板处理控制机 构之间进行通信,并从上述基板处理控制机构对应 要求,控制着上述基板搬出机构,同时独立于来自 上述基板处理控制机构的要求,控制着上述索引机 械人的基板搬送控制机构。 4.如申请专利范围第1或2项之基板搬送装置,其中, 上述第一基板让渡位置,系配置于与上述基板搬入 埠不同高度的位置处。 5.如申请专利范围第2或3项之基板搬送装置,其中, 上述第二基板让渡位置,配置呈与上述基板搬出埠 不同高度的位置处。 6.一种基板处理装置,系包含有: 对从基板搬入埠所搬入的基板施行处理,并将经处 理后的基板搬出于基板搬出埠的基板处理部;及 上述申请专利范围第1至3项中任一项之基板搬送 装置。 7.一种基板处理方法,系基板处理装置之基板处理 方法,而该基板处理装置系具备有:对从基板搬入 埠所搬入的基板施行处理,并将经处理后的基板搬 出于基板搬出埠上的基板处理部;与对此基板处理 部执行基板之搬入/搬出的基板搬送装置;其特征 在于包含有: 利用索引机械人,从设置在晶盒站中的晶盒中取出 基板,并在第一基板让渡位置处,将此基板让渡给 基板搬入机构的让渡步骤; 利用上述基板搬入机构,当从上述第一基板让渡位 置移动到上述基板搬入埠处时,便让渡基板的步骤 ; 利用上述索引机械人,将从上述基板搬出埠中所搬 出的基板,收容于设置在上述晶盒站之晶盒中的步 骤; 利用接受来自上述基板处理部中所设置基板搬送 控制机构之要求的上述基板搬送部之基板搬送控 制机构,对应上述要求,控制着上述基板搬入机构 的步骤;以及 利用上述基板搬送控制机构控制着上述索引机械 人的步骤。 8.如申请专利范围第7项之基板处理方法,其中,系 更包含有: 利用基板搬出机构,将搬出于上述基板搬出埠中的 基板,搬送至第二基板让渡位置处的步骤; 为收容于设置在上述晶盒站之晶盒中,而利用上述 索引机械人在上述第二基板让渡位置中,从上述基 板搬出机构中承接基板的步骤;以及 利用上述基板搬送控制机构,对应来自上述基板处 理控制机构的要求,控制着上述基板搬出机构的步 骤。 9.一种基板处理方法,系基板处理装置之基板处理 方法,而该基板处理装置系具备有:对从基板搬入 埠所搬入的基板施行处理,并将经处理后的基板搬 出于基板搬出埠上的基板处理部;与对此基板处理 部执行基板之搬入/搬出的基板搬送装置;其特征 在于包含有: 利用索引机械人,从设置在晶盒站中的晶盒中取出 基板,并将此基板让渡给上述基板搬入埠的步骤; 将从上述基板搬出埠中所搬出的基板,利用基板搬 出机构,搬送至第二基板让渡位置处的步骤; 利用上述索引机械人,在上述第二基板让渡位置处 ,从上述基板搬出机构中承接基板,并将此基板收 容于设置在上述晶盒站之晶盒中的步骤; 利用接受来自上述基板处理部中所设置基板搬送 控制机构之要求的上述基板搬送部之基板搬送控 制机构,对应上述要求,控制着上述基板搬入机构 的步骤;以及 利用上述基板搬送控制机构控制着上述索引机械 人的步骤。 图式简单说明: 图1为本发明一实施形态之基板处理装置整体构造 的概念俯视图。 图2为输送带内部构造的简略剖视图。 图3为同输送带内部构造的简略剖视图。 图4为输送带的具体构造例俯视图。 图5为输送带的具体构造例侧视图。 图6为输送带的具体构造例后视图。 图7为供驱动推料销用的驱动机构构造例的立体图 。 图8为机械人构造例的立体图。 图9为构成上述基板处理装置的电性构造区块图。 |
