光源产生装置及接触孔洞的曝光方法

摘要

一种光源产生装置及接触孔洞的曝光方法，该方法包括下列步骤：提供一曝光机台，具有一光源及一镜头，其中镜头具有一透光孔隙及四个辅助透光孔隙；提供一具复数接触孔洞图案的光罩；藉由镜头，使光源透过光罩，以进行曝光；该光源产生装置包括：一光源；一镜头，具有一透光孔隙及四个辅助透光孔隙，用以使上述光源透过，以进行曝光。

主权项

1.一种接触孔洞的曝光方法，其特征是：包括下列步骤：提供一曝光机台，具有一光源及一为矩形的镜头，其中上述镜头具有一呈圆形的中央透光孔隙及四个呈矩形的辅助透光孔隙，所述辅助透光孔隙大体上分别位于上述曝光镜头的四个角落；提供一具复数接触孔洞图案的光罩；以及藉由上述镜头，使上述光源透过上述光罩，以进行曝光。