光波导及其制造方法

摘要

提供一个用于传播光信号的芯部，以及一对彼此相对设置的第一和第二包层，在第一和第二包层之间设置所述芯部。其上形成有芯部的第一包层在接触芯部的界面一侧具有一个多层膜，所述多层膜具有多层结构，在该多层结构中，多种材料之间存在畸变应力。利用这种结构，可以在包层和芯部之间的边界防止出现光散射，还能减少极化依赖性。

主权项

1.一种光波导，包括：设置在基板上的第一包层；设置在第一包层上的芯部，用于传播光信号；和设置在芯部上的第二包层，其中：第一包层在接触芯部的一侧具有一个多层膜，和所述多层膜包括具有不同温度应力特性的多个膜。