研磨装置及被研材的厚度判定方法

摘要

本发明提供不需要高度熟练操作就能高精度地控制被研材厚度的厚度判定技术。本发明的研磨装置(100)，用于研磨被研材，具有第1研磨部件(111)、隔着被研材(101)与第1研磨部件相向的第2研磨部件(121)、使上述第1研磨部件和第2研磨部件相对旋转或摆动的驱动机构。该装置备有检测机构(114、117)和计时机构，上述检测机构测定随着被研材的厚度变化而变化的装置构造部分的位置，能够检测是否得到了与被研材的厚度设定值以下的厚度对应的厚度检测值；上述计时机构求出持续地得到与上述设定值以下的厚度对应的厚度检测值的持续时间，当上述持续时间超过了既定的设定时间时，停止研磨动作。

主权项

1.研磨装置，用于研磨被研材，具有第1研磨部件、隔着被研材与上述第1研磨部件相向的第2研磨部件、使上述第1研磨部件和上述第2研磨部件相对旋转或摆动的驱动机构，其特征在于，备有检测机构和计时机构，上述检测机构测定随着上述被研材的厚度变化而变化的装置构造部分的位置，能够检测是否得到了与上述被研材的厚度设定值以下的厚度对应的厚度检测值；上述计时机构求出持续地得到与上述设定值以下的厚度对应的上述厚度检测值的持续时间，当上述持续时间超过了既定的设定时间时，停止研磨动作。