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经营范围
发明名称
Vorrichtung zum Herstellen von Halbleiterbauelementen, insbesondere Legierungsvorrichtung
摘要
申请公布号
CH420068(A)
申请公布日期
1966.09.15
申请号
CH19640000028
申请日期
1964.01.06
申请人
SIEMENS & HALSKE AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
GERHARDT KLIMA,KARL;NOSS,KORNELIUS
分类号
H01L21/00;H01L21/24
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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