发明名称 Vorrichtung zum Herstellen von Halbleiterbauelementen, insbesondere Legierungsvorrichtung
摘要
申请公布号 CH420068(A) 申请公布日期 1966.09.15
申请号 CH19640000028 申请日期 1964.01.06
申请人 SIEMENS & HALSKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 GERHARDT KLIMA,KARL;NOSS,KORNELIUS
分类号 H01L21/00;H01L21/24 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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