发明名称 POLYMERS, CHEMICAL AMPLIFICATION RESIST COMPOSITIONS AND PATTERNING PROCESS
摘要
申请公布号 KR100488178(B1) 申请公布日期 2005.05.09
申请号 KR20000052942 申请日期 2000.09.07
申请人 发明人
分类号 G03F7/039;G03F7/004;G03F7/038;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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